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无尘净化车间的污染源该如何控制

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无尘净化车间的污染源该如何控制

发布日期:2019-08-28 作者: 点击:

无尘净化车间洁净度的维持和控制,除了硬设备的配合投资外,也需要良好管理制度来搭配,方能维持良好的洁净度。无尘净化车间内的微污染来源,经测试分析结果,作业人员占约80%,实验数据显示,作业人员进出无尘净化车间时尘埃有显著增加,有人动作时,洁净度马上劣化,可见洁净度劣化的原因人是主要因素。


下面就由小编来跟大家一起分享一下无尘净化车间的污染源该如何控制:

无尘净化车间的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等;而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等。

对硅芯片而言,微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路,使芯片失去运作功能,因此微污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。而对微污染的控制,其基本原则有四:


1、外部尘埃侵入的防止:

无尘室适当的正压保持(0.5mmAq),做好施工工程的不漏气,人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作,空气过滤器适当的管理和设置。


2、室内发尘的防止:

隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。


3、室内发尘不积留:

墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。


4、发生尘埃之排除:

换气次数应足够,适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。


好的,今天就分享这么多啦,大家可以在进入网站在线留言或者电话联系我们,我们将持续分享一些无尘净化方面的知识。

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